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详情描述
卧式扩散炉-
设备用途：用于大规模集成电路、电力电子、光 电器件、光导纤维等行业的氧化、扩散、烧结、合金等工艺。
设备特点：单元组合方式。根据工艺的不同，可以在主机的基础上配气源柜、超净工作台、悬臂推拉舟等。
主要技术指1标：
炉管数：1-4管
配工艺管口径：90360 mm （312英寸）
单点稳定性
气源路数： 7路，可配恒温源瓶、氢氧合成点火器
气体控制： 浮子质量流量计
悬臂舟参数：速度： 201000 mmmin 大行程：2000 mm 定位精度：1 mm 大载荷：17 Kg
超净工作台：净化等级：100级（万级厂房）
噪音
振动： 3m
晨立扩散炉设备新鲜出炉，技术和质量已达国际水平，受到半导体设备制造企业和半导体行业高度关注.可完全替代国外同规格高端产品满足不同工艺的要求.
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